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設(shè)備概述：

    手套箱蒸鍍一體設(shè)備集成了電阻蒸發(fā)、有機束源爐蒸發(fā)是一臺多功能的真空鍍膜設(shè)備，系統(tǒng)可鍍鍍制各種金屬薄膜等如：各種金屬鋁、銀、鉑、金、鈷等，有機材料如：C60、NPB、TPBi等材料；鍍膜腔體采用雙面開門結(jié)構(gòu)，正面采用滑動開門結(jié)構(gòu)可與手套箱實現(xiàn)無縫對接，方便在手套箱中操作，后側(cè)采用側(cè)開門，方便對系統(tǒng)進行維護和清理。

系統(tǒng)主要配置如下：

一、真空室(超高真空設(shè)計)

1、304L不銹鋼方形真空室，內(nèi)部電拋光，真空室直徑約寬400深400mm高450mm，立式前后開門結(jié)構(gòu)；

2、前門導(dǎo)軌采用導(dǎo)軌導(dǎo)向，中間拉桿設(shè)計，節(jié)省手套箱空間的同時外觀更協(xié)調(diào)；前門手輪壓緊設(shè)計，避免了手動旋開不方便操作的同時有效解決了開后門時空氣漏進手套箱里的情況出現(xiàn)。后門采用手動鉸鏈結(jié)構(gòu)，扣緊密封操作簡單，配有DN100觀察窗，觀察窗配擋板；

3、真空室左側(cè)連接主閥門和分子泵，真空測量接口。頂部安裝旋轉(zhuǎn)升降樣品臺、樣品臺大擋板及加熱器熱電偶接口。底板安裝蒸發(fā)源、膜厚儀探頭接口等組件,真空室門上1個帶擋板的直徑4英寸觀察窗；配備防污玻璃；

4、集成的一體電控部分位于設(shè)備和手套箱下方。系統(tǒng)帶萬向輪和地腳，方便移動。

二、抽氣系統(tǒng)（設(shè)備極限真空:6×10E-5Pa）

1、一套1200L分子泵作為主泵， 前級采用8L旋片式機械泵；

2、高真空閥門：氣動控制，集成到主控系統(tǒng)控制；

3、粗抽閥 (DN40，氣動)；

4、前級閥 (FN40，氣動)；

5、放氣閥 (DN6 ，電動)。

三、真空測量系統(tǒng)

1、一套數(shù)字式復(fù)合真空計；

2、自動控制切換低真空、高真空測量，真空測量范圍從大氣到1E-6Pa。

四、蒸發(fā)系統(tǒng)及膜厚控制（數(shù)量可選）

1、金屬蒸發(fā)組件；

2、2組水冷蒸發(fā)電極，兼容蒸發(fā)舟、螺旋蒸發(fā)絲，帶有氣動檔板。配備2套數(shù)字式直流蒸發(fā)電源；

3、有機蒸發(fā)組件；

4、系統(tǒng)配備2套有機蒸發(fā)源，配備獨立電源，帶溫控；

5、膜厚控制；

6、一套石英晶振膜厚儀，含1套水冷探頭。

五、樣品架系統(tǒng)

1、設(shè)備配有自轉(zhuǎn)、升降工件盤，一次性放置最大不超過四寸樣品一片。配有磁流體密封，電機控制，樣品擋板采用電控氣動；

2、高扭矩電機和控制器，轉(zhuǎn)速0~30RPM可調(diào)；

3、主控系統(tǒng)控制開關(guān)，轉(zhuǎn)速；

4、升降源基距150-250mm可調(diào)節(jié)，磁流體+步進電機控制；

5、隨機配備掩膜板裝置（具體尺寸按照用戶要求訂）。

六、控制系統(tǒng)

1、手動邏輯控制或觸摸屏自動控制；

2、控制內(nèi)容：機械泵，分子泵，氣動、電磁閥門、真空計等等；

3、完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖），設(shè)備處于完整互鎖保護下，保障人員和設(shè)備安全，另外系統(tǒng)配備水流檢測報警裝置。