該超高真空磁控濺射鍍膜機的基本參數(shù)如下：
l 鍍膜室極限真空：≤3×10-5Pa；
l 抽氣時間：30分鐘內(nèi)優(yōu)于8×10-4Pa；
l 真空室尺寸：450mm×H350mm，真空室采用不銹鋼加工而成，配玻璃觀察窗，側(cè)門可開啟；最大可鍍300×300mm方片；
l 靶尺寸、數(shù)量：2只70*350mm永磁靶。靶材尺寸：70×350×5mm；
l 靶基距可調(diào)（40~80mm）；
l 反濺清洗與偏壓：偏壓-800V，可滿足反濺清洗；
l 主機尺寸：長1060mm×寬600mm×高1600mm；（根據(jù)需要，尺寸會適當調(diào)整）
l 氣體種類：工作氣體Ar+反應(yīng)氣體；
全國服務(wù)熱線
0551-68859919
手 機：13645690223
地 址：合肥市肥西蓬萊路聯(lián)東U谷二期8-3
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