1.如果真空規管沒有損壞,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室內擴散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干凈是最關鍵的，如果室內還有油的存在,就會出現鍍白膜,膜層質量很不好，等現象 ,并不是因為電鍍設備的損壞,而是因為真空室有油。

2.如果是真空電鍍設備的擴散泵經常返油可能是以下問題:

1）冷卻水路不通暢或水壓不夠,導致冷卻能力下降,擴散泵上半部分變熱,油蒸汽不能良好液化。解決辦法將擴散泵進水管接以4mpa的氣源，吹出水垢,接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結的很多并且牢固,可通入稀鹽酸。或者更換擴散泵。

2）加熱溫度過高,由于擴散泵加熱器功率與額定功率不符,過高,造成蒸汽量大，可造成返油,更換電爐絲可解決。

3）加油量過高,加油量高容易導致蒸汽量循環緩慢，向下級壓縮時滯留,造成返油,根據廠家提供信息進行加油量的控制可避免。

4）油氧化，擴散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影響，達不到噴射速度，自然就返到真空室內。可講擴散泵拆下，將泵心取出，用120#汽油進行清洗,然后打磨，將結碳和黑色氧化層打磨掉, 再次用120#汽油清洗、晾于,然后安裝,倒入擴散泵油或硅油,加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染工件。

5）若擴散泵服役時間超過8-10年,或在惡劣的環境下使用，可考慮更換。提高工作效率及維護成本。